Hola calgonit.
Pues depende, como to en esta vida. Y de que depende? De si tienes entre manos una sola canción o si tienes una obra compuesta por varias canciones.
Si tienes solo una canción lo que dices se puede hacer, sin embargo soy partidario de separar bien el proceso de mastering del proceso de mezcla.
Cuando tienes varias canciones entre manos lo que has dicho lo desancosejo, ya que tendrías que escuchar bien todas las canciones y buscar cohesión entre ellas en el proceso de mastering.
Lo de usar el propio cubase opr medio de los efectos de master para masterizar.... ya te digo que yo te aconsejaría masterizar en programas como wavelab, en los que puedes usar los mismos plugins que usas en cubase.
Espero que te haya servido de algo, peor te digo que en esto de mastering prima sobre todo las opiniones y las experiencias de cada uno. No hay un método definido.
Saludos.